1.СÐò
? ? ? ÏÖ´úº½ÐÐʱ¼ä¶þ´ÎÀë×ÓÖÊÆ×ÒÇ£¨TOF-SIMS£©Ô´ÓÚÉϸöÊÀ¼ÍÆßÊ®ÄêÔÂ
¡£ËüµÄÌصãÖ®Ò»ÊǸßѸËÙ¶È
¡£¶ÔÏÕЩËùÓеÄÔªËØÆä×îµÍ¿ÉÕÉÁ¿Å¨¶È¶¼¿ÉÒÔµÖ´ïppm£¨°ÙÍò·ÖÖ®Ò»£©ÊýÄ¿¼¶
£¬ÓÐЩ¿ÉÒÔµÖ´ïppb£¨Ê®ÒÚ·ÖÖ®Ò»£©Á¿¼¶
¡£ÌصãÖ®¶þÊǸß×ÝÏòÇø·ÖÂÊ
¡£×îÐÂÒ»´úTOF-SIMSÆäÇø·ÖÂÊ¿ÉÒÔµÖ´ï¶þÖÁÈý¸öÔ­×Ó²ã
¡£Í¬Ê±Ëæ×ÅÊÖÒյĸÄÉÆ
£¬ÆÊÎöÇøÓòÔ½À´Ô½Ð¡
¡£ÉÏÊöÌصãʹTOF-SIMSÔÚÖÊÁϵijɷݡ¢²ôÔÓºÍÔÓÖÊÕ´Î۵ȷ½ÃæµÄÆÊÎöÖÐÓµÓв»¿ÉÌæ»»µÄְλ
¡£
2.Ô­Àí
? ? ? 1. ʹÓþ۽¹µÄÒ»´ÎÀë×ÓÊøÔÚÑùÆ·ÉϾÙÐÐÎȹ̵ĺä»÷
£¬Ò»´ÎÀë×Ó¿ÉÄÜÊܵ½ÑùÆ·ÍâòµÄ±³É¢É䣨¸ÅÂʺÜÐ
¡£©
£¬Ò²¿ÉÄÜ´©Í¸¹ÌÌåÑùÆ·ÍâòµÄһЩԭ×Ó²ãÉîÈëµ½Ò»¶¨Éî¶È
£¬ÔÚ´©Í¸Àú³ÌÖб¬·¢Ò»ÏµÁе¯ÐԺͷǵ¯ÐÔÅöײ
¡£Ò»´ÎÀë×Ó½«Æ䲿·ÖÄÜÁ¿×ª´ï¸ø¾§¸ñÔ­×Ó
£¬ÕâЩԭ×ÓÖÐÓÐÒ»²¿·ÖÏòÍâòÔ˶¯
£¬²¢°ÑÄÜÁ¿×ª´ï¸øÍâòÀë×Óʹ֮·¢Éä
£¬ÕâÖÖÀú³Ì³ÉΪÁ£×Ó½¦Éä
¡£ÔÚÒ»´ÎÀë×ÓÊøºä»÷ÑùƷʱ
£¬ÉÐÓпÉÄܱ¬·¢ÁíÍâһЩÎïÀíºÍ»¯Ñ§Àú³Ì£ºÒ»´ÎÀë×Ó½øÈ뾧¸ñ
£¬ÒýÆ𾧸ñ»û±ä£»ÔÚ¾ßÓÐÎü¸½²ãÁýÕÖµÄÍâòÉÏÒýÆð»¯Ñ§·´Ó¦µÈ
¡£½¦ÉäÁ£×Ӵ󲿷ÖΪÖÐÐÔÔ­×ӺͷÖ×Ó
£¬Ð¡²¿·ÖΪ´øÕý¡¢¸ºµçºÉµÄÔ­×Ó¡¢·Ö×ӺͷÖ×ÓËéƬ£»
? ? ? 2. µçÀëµÄ¶þ´ÎÁ£×Ó£¨½¦ÉäµÄÔ­×Ó¡¢·Ö×ÓºÍÔ­×ÓÍŵȣ©°´ÖʺɱÈʵÏÖÖÊÆ×ÊèÉ¢£»
? ? ? 3. ÍøÂç¾­ÓÉÖÊÆ×ÊèÉ¢µÄ¶þ´ÎÀë×Ó
£¬¿ÉÒÔµÃÖªÑùÆ·ÍâòºÍ±¾ÌåµÄÔªËØ×é³ÉºÍÂþÑÜ
¡£ÔÚÆÊÎöÀú³ÌÖÐ
£¬ÖÊÁ¿ÆÊÎöÆ÷²»µ«¿ÉÒÔÌṩ¹ØÓÚÿһʱ¿ÌµÄÐÂÏÊÍâòµÄ¶àÔªËØÆÊÎöÊý¾Ý
¡£²¢ÇÒ»¹¿ÉÒÔÌṩÍâòijһԪËØÂþÑܵĶþ´ÎÀë×ÓͼÏñ
¡£

? ? ? 4. TOF-SIMSµÄÆæÒìÖ®´¦ÔÚÓÚÆäÀë×Óº½ÐÐʱ¼äÖ»ÒÀÀµÓÚËûÃǵÄÖÊÁ¿
¡£ÓÉÓÚÆäÒ»´ÎÂö³å¾Í¿É»ñµÃÒ»¸öÈ«Æ×
£¬Àë×ÓʹÓÃÂÊ×î¸ß
£¬ÄÜ×îºÃµØʵÏÖ¶ÔÑùÆ·ÏÕЩÎÞËðµÄ¾²Ì¬ÆÊÎö
£¬¶øÆä¸üÖ÷ÒªµÄÌصãÊÇÖ»Òª½µµÍÂö³åµÄÖظ´ÆµÂʾͿÉÀ©Õ¹ÖÊÁ¿¹æÄ£
£¬´ÓÔ­ÀíÉϲ»ÊÜÏÞÖÆ
¡£

3.Êä³ö²ÎÊý
? ? ? 1. ¿É¶ÔH-UÔªËؾÙÐж¨ÐÔÆÊÎö£¨¶¨Á¿Ðè±êÑù£©
£¬¼ì²â¼«ÏÞ¿É´ïppm»ò¸üµÍµÄŨ¶È
¡£
? ? ? 2. ÓÅÒìµÄÉî¶ÈÇø·ÖÂÊ£¨0.1-1nm£©
£¬µ«½¦ÉäËÙÂʺÜÂý£¨£¼1¦Ìm/H£©
¡£
? ? ? 3. ¼«Ð¡Ð¡Ãæ»ýÆÊÎö
£¬×îСÇøÓò¿É´ïÖ±¾¶80nm
¡£
? ? ? 4. ¿ÉÆÊÎöÓлúÎï
£¬ÄÜÖ±½ÓÊä³öÓлúÎï·Ö×Óʽ
¡£
? ? ? 5. ¿É¶ÔÔªËؾÙÐÐÃæÂþÑÜÆÊÎö
¡£
4.Ó¦Óð¸Àý
? ? ? 4.1 Óлú´ó·Ö×ÓÆÊÎö£ºÄÜÖ±½ÓÆÊÎö³ö·Ö×Óʽ
¡£
? ? ? 4.2 ºÛÁ¿ÔªËØÆÊÎö£ºÓбêÑùµÄÑùÆ·¶¨Á¿ÆÊÎöÄִܵïppm¼¶±ð
£¬Óм«¸ßµÄ¼ì³öÏÞ
¡£
5.С½á
? ? ? ±¾ÎļòÆÓ½éÉÜÁ˺½ÐÐʱ¼ä¶þ´ÎÀë×ÓÖÊÆ×ÒÇ£¨TOF-SIMS£©µÄ»ùÀ´Ô´Àí¡¢½á¹¹ºÍÓ¦ÓÃ
¡£Í¨¹ý¶Ô²úÆ·µÄÍâò΢ÇøºÍ³¬±¡ºñ¶ÈµÄÆÊÎö
£¬Äܹ»ÎªÊ§Ð§ÆÊÎöÌṩ¶à·½ÃæµÄÐÅÏ¢
¡£ÀýÈç
£¬ ²ôÔÓÓëÂþÑÜÊÇ·ñÖª×ãÉè¼ÆÒªÇó¡¢¹¤ÒÕÀú³ÌÖÐÊÇ·ñÔÚÓÐÔ´ÇøÒýÈëÁËÕ´Î۵ȵÈ
¡£
ȪԴ£ºÐÂÖÊÁÏÔÚÏß